Електронскиспецијални гасовисе важна гранка на специјалните гасови. Тие продираат во речиси секоја алка од производството на полупроводници и се неопходни суровини за производство на електронски индустрии како што се ултра-големи интегрирани кола, уреди со рамни панели и соларни ќелии.

Во полупроводничката технологија, гасовите што содржат флуор се широко користени. Во моментов, на глобалниот пазар на електронски гасови, електронските гасови што содржат флуор сочинуваат околу 30% од вкупниот број. Електронските гасови што содржат флуор се важна компонента на специјалните електронски гасови во областа на електронските информативни материјали. Тие главно се користат како средства за чистење и средства за гравирање, а можат да се користат и како допанти, материјали што формираат филм итн. Во оваа статија, авторот ќе ве води кон разбирање на вообичаените гасови што содржат флуор.

Следните се најчесто користени гасови што содржат флуор

Азот трифлуорид (NF3): Гас што се користи за чистење и отстранување на наслаги, обично се користи за чистење на реакциони комори и површини на опремата.

Сулфур хексафлуорид (SF6): Средство за флуорирање што се користи во процесите на таложење на оксиди и како изолационен гас за полнење на изолациски медиуми.

Водород флуорид (HF): Се користи за отстранување на оксиди од површината на силициумот и како средство за јоргање на силициум и други материјали.

Азотен флуорид (NF): Се користи за гравирање на материјали како што се силициум нитрид (SiN) и алуминиум нитрид (AlN).

Трифлуорометан (CHF3) итетрафлуорометан (CF4)Се користи за гравирање на флуорни материјали како што се силициум флуорид и алуминиум флуорид.

Сепак, гасовите што содржат флуор имаат одредени опасности, вклучувајќи токсичност, корозивност и запаливост.

Токсичност

Некои гасови што содржат флуор се токсични, како што е водород флуорид (HF), чија пареа е многу иритирачка за кожата и респираторниот тракт и штетна за здравјето на луѓето.

Корозивност

Водородниот флуорид и некои флуориди се многу корозивни и можат да предизвикаат сериозно оштетување на кожата, очите и респираторниот тракт.

Запаливост

Некои флуориди се запаливи и реагираат со кислород или вода во воздухот за да ослободат интензивна топлина и токсични гасови, што може да предизвика пожар или експлозија.

Опасност од висок притисок

Некои флуорирани гасови се експлозивни под висок притисок и бараат посебна грижа при употреба и складирање.

Влијание врз животната средина

Гасовите што содржат флуор имаат висок атмосферски животен век и вредности на GWP, што има деструктивен ефект врз атмосферскиот озонски слој и може да предизвика глобално затоплување и загадување на животната средина.

Примената на гасови во новите области како што е електрониката продолжува да се продлабочува, носејќи голема количина нова побарувачка за индустриски гасови. Врз основа на големиот број нови производствени капацитети на главните електронски компоненти како што се полупроводници и дисплеи во континентална Кина во следните неколку години, како и силната побарувачка за замена на увозот на електронски хемиски материјали, домашната индустрија за електронски гас ќе донесе висока стапка на раст.