Електронскиспецијални гасовисе важна гранка на специјални гасови. Тие навлегуваат во речиси секоја врска на производството на полупроводници и се незаменливи суровини за производство на електронски индустрии како што се ултра големи интегрирани кола, уреди за прикажување со рамни панели и соларни ќелии.

Во технологијата на полупроводници, широко се користат гасови што содржат флуор. Во моментов, на глобалниот пазар на електронски гас, електронските гасови што содржат флуор сочинуваат околу 30% од вкупниот број. Електронските гасови што содржат флуор се важна компонента на специјалните електронски гасови во областа на електронските информативни материјали. Тие главно се користат како средства за чистење и средства за офорт, а можат да се користат и како допанти, материјали што формираат филм, итн. Во оваа статија, авторот ќе ве одведе да ги разберете вообичаените гасови што содржат флуор.

Следниве се најчесто користени гасови што содржат флуор

Азот трифлуорид (NF3): Гас што се користи за чистење и отстранување на наслаги, обично се користи за чистење на реакционите комори и површини на опремата.

Сулфур хексафлуорид (SF6): Флуорирачки агенс што се користи во процесите на таложење на оксиди и како изолационен гас за полнење на изолациони медиуми.

Водород флуорид (HF): Се користи за отстранување на оксидите од површината на силициумот и како офорт за офорт на силициум и други материјали.

Азот флуорид (NF): Се користи за гравирање на материјали како што се силициум нитрид (SiN) и алуминиум нитрид (AlN).

Трифлуорометан (CHF3) итетрафлуорометан (CF4): Се користи за гравирање на флуоридни материјали како што се силициум флуорид и алуминиум флуорид.

Сепак, гасовите што содржат флуор имаат одредени опасности, вклучувајќи токсичност, корозивност и запаливост.

Токсичност

Некои гасови што содржат флуор се токсични, како што е водород флуорид (HF), чија пареа е многу иритирачка за кожата и респираторниот тракт и штетна за здравјето на луѓето.

Корозивност

Водород флуоридот и некои флуориди се многу корозивни и може да предизвикаат сериозно оштетување на кожата, очите и респираторниот тракт.

Запаливост

Некои флуориди се запаливи и реагираат со кислород или вода во воздухот за да испуштаат интензивна топлина и отровни гасови, што може да предизвика пожар или експлозија.

Опасност од висок притисок

Некои флуорирани гасови се експлозивни под висок притисок и бараат посебна грижа кога се користат и складираат.

Влијание врз животната средина

Гасовите што содржат флуор имаат високи атмосферски векови и вредности на GWP, кои имаат деструктивен ефект врз атмосферската озонска обвивка и може да предизвикаат глобално затоплување и загадување на животната средина.

Примената на гасови во областите кои се појавуваат, како што е електрониката, продолжува да се продлабочува, што носи голема количина на нова побарувачка за индустриски гасови. Врз основа на големата количина на нов производствен капацитет на главните електронски компоненти како што се полупроводници и панели за прикажување во континентална Кина во следните неколку години, како и силната побарувачка за увозна замена на електронски хемиски материјали, домашната електронска индустрија за гас ќе започне висока стапка на раст.