ЕлектронскиСпецијални гасовисе важна гранка на специјални гасови. Тие навлегуваат во скоро секоја врска на производството на полупроводници и се неопходни суровини за производство на електронски индустрии, како што се интегрирани кола со ултра големи размери, уреди за прикажување на рамен панел и соларни ќелии.

Во полупроводничка технологија, широко се користат гасови што содржат флуор. Во моментов, на глобалниот електронски пазар на гас, електронските гасови што содржат флуор сочинуваат околу 30% од вкупниот број. Електронските гасови што содржат флуор се важна компонента на специјалните електронски гасови во областа на електронските информативни материјали. Тие главно се користат како средства за чистење и агенси за гравирање, а исто така можат да се користат како допанти, материјали за формирање на филмови, итн. Во овој напис, авторот ќе ве однесе за да ги разберете вообичаените гасови што содржат флуор.

Следниве најчесто се користат гасови што содржат флуор

Трифлуорид на азот (NF3): гас што се користи за чистење и отстранување на наоѓалиштата, обично се користи за чистење на комори за реакција и површини на опрема.

Сулфур хексафлуорид (SF6): Агент за флуорирање што се користи во процесите на таложење на оксид и како изолационен гас за пополнување на изолациски медиуми.

Водород флуорид (HF): Се користи за отстранување на оксидите од силиконската површина и како ечан за гравирање на силикон и други материјали.

Азотниот флуорид (NF): Се користи за да се искачи материјали како што се силикон нитрид (грев) и алуминиум нитрид (АЛН).

Трифлуорометан (CHF3) иТетрафлуорометан (CF4): Се користи за да се искачи флуоридните материјали како што се силиконски флуорид и алуминиум флуорид.

Сепак, гасовите што содржат флуор имаат одредени опасности, вклучително и токсичност, корозивност и запаливост.

Токсичност

Некои гасови што содржат флуор се токсични, како што е водородниот флуорид (HF), чиј пареа е многу иритирачки за кожата и респираторниот тракт и е штетно за здравјето на луѓето.

Корозивност

Водородниот флуорид и некои флуориди се многу корозивни и можат да предизвикаат сериозно оштетување на кожата, очите и респираторниот тракт.

Запаливост

Некои флуориди се запаливи и реагираат со кислород или вода во воздухот за да ослободат интензивна топлина и токсични гасови, што може да предизвика пожар или експлозија.

Опасност од висок притисок

Некои флуорирани гасови се експлозивни под висок притисок и бараат посебна грижа кога се користат и складираат.

Влијание врз животната средина

Гасовите што содржат флуор имаат високи животни атмосферски животни и вредности на GWP, кои имаат деструктивен ефект врз атмосферскиот озонски слој и може да предизвикаат глобално затоплување и загадување на животната средина.

Примената на гасови во новите полиња, како што е електрониката, продолжува да се продлабочува, донесувајќи голема количина на нова побарувачка за индустриски гасови. Врз основа на големата количина на нов производствен капацитет на главните електронски компоненти, како што се полупроводници и панели за прикажување во копното Кина во следните неколку години, како и силната побарувачка за замена на електронски хемиски материјали, домашната индустрија за електронски гас ќе придонесе во висока стапка на раст.