Користење на волфрам хексафлуорид (WF6)

Волфрам хексафлуорид (WF6) се депонира на површината на нафтата преку процесот на CVD, пополнувајќи ги металните ровови за интерконекција и формирајќи ја металната интерконекција помеѓу слоевите.

Ајде прво да разговараме за плазмата. Плазмата е форма на материја главно составена од бесплатни електрони и наполнети јони. Постои широко во универзумот и честопати се смета за четврта состојба на материјата. Се нарекува плазма држава, исто така наречена „Плазма“. Плазмата има висока електрична спроводливост и има силен ефект на спојување со електромагнетно поле. Тоа е делумно јонизиран гас, составен од електрони, јони, слободни радикали, неутрални честички и фотони. Самата плазма е електрично неутрална мешавина која содржи физички и хемиски активни честички.

Јасно објаснување е дека под дејство на висока енергија, молекулот ќе ја надмине силата на ван дер Валс, силата на хемиската врска и силата на куломб и ќе претстави форма на неутрална електрична енергија како целина. Во исто време, високата енергија што ја дава надворешната страна ги надминува горенаведените три сили. Функција, електрони и јони претставуваат слободна состојба, која може да се користи вештачки под модулација на магнетно поле, како што се процес на гравирање на полупроводници, процес на CVD, PVD и процес на IMP.

Што е висока енергија? Во теорија, може да се користи и висока температура и висока фреквенција RF. Општо земено, високата температура е скоро невозможна да се постигне. Овој услов за температура е превисок и може да биде близу до температурата на сонцето. Во основа е невозможно да се постигне во процесот. Затоа, индустријата обично користи RF со висока фреквенција за да го постигне тоа. Плазма RF може да достигне дури 13MHz+.

Хексафлуорид на волфрам се плазма под дејство на електрично поле, а потоа и пареа депонирано од магнетно поле. W атомите се слични на пердувите на зимската гуска и паѓаат на земја под дејство на гравитација. Полека, атомите на W се депонираат во дупки преку дупки, и конечно се пополнуваат целосни преку дупки за да формираат метални меѓусебни врски. Покрај депонирање на атоми W во дупките, дали тие ќе бидат депонирани и на површината на нафтата? Да, дефинитивно. Општо земено, можете да го користите процесот W-CMP, што е она што ние го нарекуваме механички процес на мелење за да се отстрани. Слично е на употреба на метла за да го зафатите подот по обилниот снег. Снегот на земја е избришан, но снегот во дупката на земјата ќе остане. Долу, приближно исто.