Волфрам хексафлуорид (WF6) се таложи на површината на плочката преку CVD процес, пополнувајќи ги металните ровови за меѓусебно поврзување и формирајќи ја металната меѓусебна поврзаност помеѓу слоевите.
Прво да разговараме за плазмата. Плазмата е форма на материја составена главно од слободни електрони и наелектризирани јони. Таа постои широко распространета во универзумот и често се смета за четврта состојба на материјата. Се нарекува плазма состојба, исто така наречена „Плазма“. Плазмата има висока електрична спроводливост и има силен ефект на спојување со електромагнетно поле. Таа е делумно јонизиран гас, составен од електрони, јони, слободни радикали, неутрални честички и фотони. Самата плазма е електрично неутрална мешавина што содржи физички и хемиски активни честички.
Едноставното објаснување е дека под дејство на висока енергија, молекулата ќе ја надмине ван дер Валсовата сила, силата на хемиската врска и Кулоновата сила, и ќе претставува форма на неутрален електрицитет како целина. Во исто време, високата енергија што ја дава надворешноста ги надминува горенаведените три сили. Функцијата, електроните и јоните претставуваат слободна состојба, која може вештачки да се користи под модулација на магнетно поле, како што се процесот на јоргање со полупроводници, CVD процесот, PVD и IMP процесот.
Што е висока енергија? Во теорија, може да се користи и висока температура и високофреквентна радио фреквенција. Општо земено, високата температура е речиси невозможно да се постигне. Ова барање за температура е превисоко и може да биде блиску до температурата на сонцето. Во основа е невозможно да се постигне во процесот. Затоа, индустријата обично користи високофреквентна радио фреквенција за да го постигне тоа. Плазма радио фреквенцијата може да достигне и до 13MHz+.
Волфрам хексафлуоридот се плазмизира под дејство на електрично поле, а потоа се таложи со пареа од магнетно поле. W атомите се слични на пердуви од зимска гуска и паѓаат на земја под дејство на гравитација. Полека, W атомите се таложат во дупките за пробивање и конечно се полнат целосно со дупки за да формираат метални меѓусебни врски. Покрај таложењето на W атоми во дупките за пробивање, дали тие ќе бидат таложени и на површината на плочката? Да, дефинитивно. Општо земено, можете да го користите процесот W-CMP, што го нарекуваме механички процес на мелење за отстранување. Слично е на користење метла за метење на подот по обилен снег. Снегот на земјата се брише, но снегот во дупката на земјата ќе остане. Приближно ист.
Време на објавување: 24 декември 2021 година
