Во процесот на производство на полупроводнички леарници за обланди со релативно напредни производствени процеси, потребни се речиси 50 различни видови гасови. Гасовите генерално се поделени на масовни гасови испецијални гасови.

Примена на гасови во микроелектрониката и полупроводничката индустрија Употребата на гасови отсекогаш играла важна улога во полупроводничките процеси, особено полупроводничките процеси се широко користени во различни индустрии. Од ULSI, TFT-LCD до сегашната микро-електромеханичка (MEMS) индустрија, полупроводничките процеси се користат како процеси на производство на производи, вклучувајќи суво офорт, оксидација, имплантација на јони, таложење на тенок филм итн.

На пример, многу луѓе знаат дека чиповите се направени од песок, но гледајќи го целиот процес на производство на чипови, потребни се повеќе материјали, како што се фоторезист, течност за полирање, цел материјал, специјален гас итн. За задно пакување, исто така, се потребни подлоги, интерпозитори, оловни рамки, материјали за врзување итн. од различни материјали. Електронските специјални гасови се вториот најголем материјал во трошоците за производство на полупроводници по силиконските наполитанки, а потоа следат маските и фоторезистите.

Чистотата на гасот има одлучувачко влијание врз перформансите на компонентите и приносот на производот, а безбедноста на снабдувањето со гас е поврзана со здравјето на персоналот и безбедноста на работата на фабриката. Зошто чистотата на гасот има толку големо влијание врз процесната линија и персоналот? Ова не е претерување, туку е определено од опасните карактеристики на самиот гас.

Класификација на вообичаените гасови во полупроводничката индустрија

Обичен гас

Обичниот гас се нарекува и рефус гас: тој се однесува на индустриски гас со потреба за чистота помала од 5N и голем обем на производство и продажба. Може да се подели на гас за одвојување на воздухот и синтетички гас според различни методи на подготовка. водород (H2), азот (N2), кислород (O2), аргон (A2) итн.;

Специјалистички гас

Специјалниот гас се однесува на индустриски гас кој се користи во одредени полиња и има посебни барања за чистота, разновидност и својства. ГлавноSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… и така натаму.

Видови зачински гасови

Видови специјални гасови: корозивни, токсични, запаливи, поддршка за согорување, инертни итн.
Најчесто користените полупроводнички гасови се класифицираат на следниов начин:
(i) Корозивно/токсично:HCl、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BCl3…
(ii) Запалив: H2,CH4,SiH4、PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Запалив: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Инертен: N2,CF4、C2F6、C4F8,SF6, CO 2 ,Ne,Kr„Тој…

Во процесот на производство на полупроводнички чипови, околу 50 различни видови специјални гасови (наведени како специјални гасови) се користат при оксидација, дифузија, таложење, офорт, вбризгување, фотолитографија и други процеси, а вкупните чекори на процесот надминуваат стотици. На пример, PH3 и AsH3 се користат како извори на фосфор и арсен во процесот на имплантација на јони, гасовите базирани на F CF4, CHF3, SF6 и халогените гасови CI2, BCI3, HBr најчесто се користат во процесот на офорт, SiH4, NH3, N2O во процесот на таложење на филмот, F2/Kr/Ne, Kr/Ne во процесот на фотолитографија.

Од горенаведените аспекти, можеме да разбереме дека многу полупроводнички гасови се штетни за човечкото тело. Особено, некои од гасовите, како што е SiH4, се самозапалливи. Сè додека истекуваат, тие бурно ќе реагираат со кислородот во воздухот и ќе почнат да горат; а AsH3 е многу токсичен. Секое мало истекување може да предизвика штета на животот на луѓето, така што барањата за безбедност на дизајнот на контролниот систем за употреба на специјални гасови се особено високи.

Полупроводниците бараат гасови со висока чистота да имаат „три степени“

Чистота на гасот

Содржината на атмосферата на нечистотија во гасот обично се изразува како процент од чистотата на гасот, како што е 99,9999%. Општо земено, барањето за чистота за електронските специјални гасови достигнува 5N-6N, а исто така се изразува со односот на волуменот на содржината на нечистотијата во атмосферата ppm (дел на милион), ppb (дел на милијарда) и ppt (дел на трилион). Електронското полупроводничка област има највисоки барања за чистота и стабилност на квалитетот на специјалните гасови, а чистотата на електронските специјални гасови е генерално поголема од 6N.

Сувост

Содржината на вода во трагови во гасот, или влажноста, обично се изразува во точка на росење, како што е атмосферската точка на росење -70℃.

Чистота

Бројот на загадувачки честички во гасот, честички со големина на честички од µm, се изразува во колку честички/M3. За компримиран воздух, тој обично се изразува во mg/m3 неизбежни цврсти остатоци, што вклучува содржина на масло.