Во процесот на производство на леарници за полупроводнички плочки со релативно напредни производствени процеси, потребни се речиси 50 различни видови гасови. Гасовите генерално се делат на гасови во големи количини испецијални гасови.

Примена на гасови во микроелектрониката и полупроводничката индустрија Употребата на гасови отсекогаш играла важна улога во полупроводничките процеси, особено полупроводничките процеси се широко користени во различни индустрии. Од ULSI, TFT-LCD до сегашната микроелектромеханичка (MEMS) индустрија, полупроводничките процеси се користат како процеси на производство на производи, вклучувајќи суво јорење, оксидација, јонска имплантација, таложење на тенок филм итн.

На пример, многу луѓе знаат дека струготините се направени од песок, но гледајќи го целиот процес на производство на струготини, потребни се повеќе материјали, како што се фоторезист, течност за полирање, материјал за цел, специјален гас итн., кои се неопходни. Задното пакување, исто така, бара подлоги, меѓупозитори, рамки за олово, материјали за поврзување итн. од различни материјали. Специјалните електронски гасови се втор најголем материјал во трошоците за производство на полупроводници по силиконските плочки, по што следат маските и фоторезистите.

Чистотата на гасот има одлучувачко влијание врз перформансите на компонентите и приносот на производот, а безбедноста на снабдувањето со гас е поврзана со здравјето на персоналот и безбедноста на работењето на фабриката. Зошто чистотата на гасот има толку големо влијание врз производната линија и персоналот? Ова не е претерување, туку е одредена од опасните карактеристики на самиот гас.

Класификација на вообичаени гасови во полупроводничката индустрија

Обичен гас

Обичниот гас се нарекува и гас за насип: се однесува на индустриски гас со барање за чистота помала од 5N и голем обем на производство и продажба. Може да се подели на гас за одвојување на воздух и синтетички гас според различни методи на подготовка. Водород (H2), азот (N2), кислород (O2), аргон (A2), итн.;

Специјален гас

Специјалниот гас се однесува на индустриски гас што се користи во специфични области и има посебни барања за чистота, разновидност и својства. ГлавноSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, БЦЛ3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... и така натаму.

Видови на зачински гасови

Видови специјални гасови: корозивни, токсични, запаливи, погодни за согорување, инертни итн.
Најчесто користените полупроводнички гасови се класифицираат на следниов начин:
(i) Корозивно/токсично:HCl,BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,БCl3…
(ii) Запаливо: H2,CH4、SiH4、PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO…
(iii) Запаливо: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Инертен: N2,CF4C2F6C4F8、SF6CO2Ne、Kr, Тој…

Во процесот на производство на полупроводнички чипови, околу 50 различни видови специјални гасови (наречени специјални гасови) се користат во оксидација, дифузија, таложење, јорганизирање, инјектирање, фотолитографија и други процеси, а вкупниот број на чекори во процесот надминува стотици. На пример, PH3 и AsH3 се користат како извори на фосфор и арсен во процесот на имплантација на јони, гасовите на база на F CF4, CHF3, SF6 и халогените гасови CI2, BCI3, HBr најчесто се користат во процесот на јорганизирање, SiH4, NH3, N2O во процесот на таложење на филм, F2/Kr/Ne, Kr/Ne во процесот на фотолитографија.

Од горенаведените аспекти, можеме да разбереме дека многу полупроводнички гасови се штетни за човечкото тело. Особено, некои од гасовите, како што е SiH4, се самозапалуваат. Доколку протекуваат, тие ќе реагираат бурно со кислородот во воздухот и ќе почнат да горат; а AsH3 е многу токсичен. Секое мало протекување може да предизвика штета на животот на луѓето, па затоа барањата за безбедност на дизајнот на контролниот систем за употреба на специјални гасови се особено високи.

Полупроводниците бараат гасови со висока чистота за да имаат „три степени“

Чистота на гасот

Содржината на нечистотија во атмосферата во гасот обично се изразува како процент од чистотата на гасот, како на пример 99,9999%. Општо земено, условот за чистота за електронски специјални гасови достигнува 5N-6N, а се изразува и со волуменскиот однос на содржината на нечистотија во атмосферата ppm (дел на милион), ppb (дел на милијарда) и ppt (дел на трилион). Електронската полупроводничка област има највисоки барања за чистота и стабилност на квалитетот на специјалните гасови, а чистотата на електронските специјални гасови е генерално поголема од 6N.

Сувост

Содржината на траги од вода во гасот, или влажноста, обично се изразува во точка на росење, како што е атмосферската точка на росење од -70℃.

Чистота

Бројот на загадувачки честички во гасот, честички со големина на честички од µm, се изразува во бројот на честички/M3. За компримиран воздух, обично се изразува во mg/m3 неизбежни цврсти остатоци, што вклучува и содржина на масло.