Во процесот на производство на полупроводници на нафта со релативно напредни процеси на производство, потребни се скоро 50 различни видови на гасови. Гасовите обично се поделени на најголемиот дел од гасови иСпецијални гасови.

Примена на гасови во микроелектроника и полупроводнички индустрии Употребата на гасови отсекогаш играла важна улога во процесите на полупроводници, особено процесите на полупроводници се користат во различни индустрии. Од ULSI, TFT-LCD до тековната микро-електротеханичка (MEMS) индустрија, процесите на полупроводници се користат како процеси на производство на производи, вклучително и суво гравирање, оксидација, јонска имплантација, таложење на тенок филм, итн.

На пример, многу луѓе знаат дека чиповите се изработени од песок, но гледајќи во целиот процес на производство на чипови, потребни се повеќе материјали, како што се фоторезист, течност за полирање, целен материјал, специјален гас, итн. Се неопходни. Пакувањето на задниот дел, исто така, бара подлоги, интерпостери, рамки за олово, материјали за врзување, итн. На разни материјали. Електронските специјални гасови се втор по големина материјал во трошоците за производство на полупроводници по силиконските нафора, проследени со маски и фоторезисти.

Чистотата на гасот има одлучувачко влијание врз перформансите на компонентите и приносот на производот, а безбедноста на снабдувањето со гас е поврзана со здравјето на персоналот и безбедноста на фабричкото работење. Зошто чистотата на гасот има толку големо влијание врз процесната линија и персоналот? Ова не е претерување, туку е утврдено со опасните карактеристики на самиот гас.

Класификација на вообичаени гасови во индустријата за полупроводници

Обичен гас

Обичниот гас се нарекува и најголем гас: се однесува на индустриски гас со барање за чистота пониско од 5N и голем обем на производство и продажба. Може да се подели на гас за раздвојување на воздухот и синтетички гас според различни методи на подготовка. Водород (H2), азот (N2), кислород (O2), аргон (A2), итн.;

Специјализиран гас

Специјалниот гас се однесува на индустриски гас што се користи во специфични полиња и има посебни барања за чистота, разновидност и својства. ГлавноSIH4, PH3, B2H6, A8H3,HCl, Cf4,NH3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… И така натаму.

Видови на СПИСКИ гасови

Видови на специјални гасови: корозивни, токсични, запаливи, поддржувачи на согорување, инертен, итн.
Најчесто користените полупроводнички гасови се класифицираат на следниов начин:
(з) корозивни/токсични:HCl、 BF3 、 WF6 、 HBR 、 SIH2CL2 、 NH3 、 PH3 、 CL2Bcl3…
(ii) запалив: H2CH4、SIH4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO
(iii) Запалив: O2 、 Cl2 、 N2O 、 NF3…
(iv) инертен: n2CF4、 C2F6C4F8、SF6、 CO2Ne、Kr、 Тој

Во процесот на производство на чипови на полупроводници, околу 50 различни видови на специјални гасови (наведени како специјални гасови) се користат во оксидација, дифузија, таложење, гравирање, инјекција, фотолитографија и други процеси и вкупните чекори на процесите надминуваат стотици. На пример, PH3 и ASH3 се користат како извори на фосфор и арсен во процесот на јонска имплантација, F-базирани гасови CF4, CHF3, SF6 и халогени гасови CI2, BCI3, HBR најчесто се користат во процесот на гравирање, SIH4, NH3, N2O во процесот на филм, F2/KR/NE, KR/NE.

Од горенаведените аспекти, можеме да разбереме дека многу полупроводнички гасови се штетни за човечкото тело. Особено, некои од гасовите, како што е SIH4, се само-упатуваат. Сè додека протекуваат, ќе реагираат насилно со кислород во воздухот и ќе почнат да горат; и ASH3 е многу токсичен. Секое мало истекување може да предизвика штета на животот на луѓето, така што барањата за безбедност на дизајнот на контролниот систем за употреба на специјални гасови се особено големи.

Полупроводниците бараат гасови со висока чистота да имаат „три степени“

Чистота на гас

Содржината на нечистотии атмосфера во гасот обично се изразува како процент на чистота на гас, како што е 99.9999%. Општо земено, барањата за чистота за електронски специјални гасови достигнуваат 5N-6N, а исто така се изразуваат со односот на волуменот на содржината на нечистотијата на атмосферата ППМ (дел по милион), ППБ (дел по милијарда) и ППТ (дел по трилион). Електронското поле за полупроводници има најголеми барања за чистота и квалитетна стабилност на специјални гасови, а чистотата на електронските специјални гасови е генерално поголема од 6n.

Сувост

Содржината на вода во трагови во гасот или влажноста обично се изразува во точката на роса, како што е точката на атмосферска роса -70.

Чистота

Бројот на загадувачки честички во гасот, честички со големина на честички од мм, се изразува во колку честички/м3. За компресиран воздух, обично се изразува во mg/m3 на неизбежни цврсти остатоци, што вклучува содржина на нафта.