Водород хлориде безбоен гас со остар мирис. Неговиот воден раствор се нарекува хлороводородна киселина, позната и како хлороводородна киселина. Водородхлоридот е многу растворлив во вода. На 0°C, 1 волумен вода може да раствори околу 500 волумени водородхлорид.

Ги има следните својства и карактеристики:

1. Висока чистота

Чистотата на електронскиот квалитетводород хлориде многу висока, обично на ppm или пониско ниво, за да се осигури дека нема да се внесат нечистотии во процесот на производство на полупроводници.

2. Инертност

Тоа е хемиски инертен гас кој не реагира со многу други супстанции, што е многу важно за да се спречи контаминација на полупроводнички материјали и опрема.

3. Висока стабилност

Електронски степенводород хлоридгенерално има стабилен хемиски состав за да обезбеди сигурна обработка на полупроводници.

Во обработката на полупроводници, главните примени на водород хлорид од електронски квалитет вклучуваат:

1. Чистење и подготовка на површината

Како ефикасно средство за чистење површини, електронски квалитетводород хлоридСе користи за отстранување на оксиди и нечистотии од површината на подлогата за да се обезбеди квалитетот и чистотата на епитаксијалниот слој или филм.

2. Епитаксијално помагало за раст

Користен како средство за површинска обработка во епитаксијалниот процес, помага да се подобри квалитетот на епитаксијалниот слој, да се подобри совпаѓањето на решетката и да се намали формирањето на дефекти на решетката.

3. Предтретман на подлогата

Пред подготовката на полупроводнички уреди, електронски квалитетводород хлоридможе да се користи за третирање на површината на подлогата за да се формира стабилна основа за подобрување на адхезијата помеѓу епитаксијалниот слој и подлогата.

4. Помошен агенс за таложење

Во процесот на хемиско таложење со пареа (CVD) или физичко таложење со пареа (PVD), водород хлоридот од електронски степен може да се користи како медиум за пренос на гасна фаза за да учествува во реакцијата на таложење на полупроводнички материјали.

5. Агенс за пренос во гасна фаза

Како агенс за пренос во гасна фаза, во реакционата комора се внесуваат други гасовити прекурсори за да се помогне во прилагодувањето на брзината на таложење и униформноста на материјалот.

Овие карактеристики ја прават електронската класа...водород хлоридважен агенс за обработка во полупроводничката технологија, кој има клучно влијание врз перформансите и сигурноста на конечниот уред.

Покрај неговата употреба во обработката на полупроводници, водород хлоридот од електронски квалитет може да најде различни употреби во други области, вклучувајќи: подготовка на материјали со висока чистота, горивни ќелии, раст на полупроводнички материјали, литографија во парна фаза, анализа на материјали, хемиски истражувања.

Во принцип, електронско одделениеводород хлориде разновиден гас со висока чистота кој има широк спектар на примени надвор од производството на полупроводници.