Водород хлориде безбоен гас со лут мирис. Неговиот воден раствор се нарекува хлороводородна киселина, познат и како хлороводородна киселина. Водородниот хлорид е многу растворлив во вода. На 0 ° C, 1 волумен на вода може да раствори околу 500 волумени водород хлорид.

Ги има следниве својства и карактеристики:

1. висока чистота

Чистотата на електронско одделениеводород хлориде многу висок, обично на PPM или пониско ниво, за да се обезбеди дека не се воведуваат нечистотии во процесот на производство на полупроводници.

2. Инертност

Тоа е хемиски инертен гас кој не реагира со многу други супстанции, што е многу важно за да се спречи загадување на полупроводнички материјали и опрема.

3. Висока стабилност

Електронска оценкаводород хлоридОпшто, има стабилна хемија за да обезбеди сигурна обработка на полупроводници.

Во обработката на полупроводникот, главните апликации на електронско одделение водород хлорид вклучуваат:

1. Чистење и подготовка на површината

Како ефикасно средство за чистење на површината, електронско одделениеводород хлоридсе користи за отстранување на оксиди и нечистотии од површината на подлогата за да се обезбеди квалитетот и чистотата на епитаксијалниот слој или филм.

2.Питаксијална помош за раст

Користено како агент за третман на површини во епитаксијалниот процес, помага да се подобри квалитетот на епитаксијалниот слој, да се подобри совпаѓањето на решетките и да се намали формирањето на дефекти на решетките.

3. Предтретман на подлогата

Пред подготовката на полупроводнички уреди, електронско одделениеводород хлоридМоже да се користи за лекување на површината на подлогата за да се формира стабилна основа за подобрување на адхезијата помеѓу епитаксичниот слој и подлогата.

4. Помошен агент за таложење

Во процесот на таложење на хемиска пареа (CVD) или таложење на физичка пареа (PVD), водородниот хлорид од електронски степен може да се користи како медиум за трансфер на фаза на гас за да учествува во реакцијата на таложење на полупроводничките материјали.

5. агент за трансфер на фаза на гас

Како агент за трансфер на фаза на гас, други гасовити прекурсори се воведуваат во комората за реакција за да помогнат во прилагодувањето на стапката на таложење и униформноста на материјалот.

Овие карактеристики прават електронска оценкаводород хлоридВажен агент за обработка во полупроводничка технологија, што има клучно влијание врз перформансите и сигурноста на конечниот уред.

Покрај неговата употреба во обработка на полупроводници, електронско одделение водород хлорид може да најде разновидност на употреба во други области, вклучително и: подготовка на материјали со висока чистота, клетки на гориво, раст на полупроводнички материјали, литографија на пареа фаза, анализа на материјали, хемиски истражувања.

Општо, електронско одделениеводород хлориде разноврсен, високо чистота гас кој има широк спектар на апликации надвор од производството на полупроводници.