Борн трихлорид (BCL3)е неорганско соединение кое најчесто се користи во процесите на суво гравирање и хемиско таложење на пареа (CVD) во производството на полупроводници. Тоа е безбоен гас со силен лут мирис на собна температура и е чувствителен на влажниот воздух затоа што хидролиза за производство на хлороводородна киселина и борна киселина.

Апликации на борниот трихлорид

Во индустријата за полупроводници,Борно трихлоридглавно се користи за суво гравирање на алуминиум и како допант за формирање региони од типот p на силиконски нафора. Исто така, може да се користи за да се искачат материјали како што се GaaS, Si, ALN и како извор на бор во одредени специфични апликации. Покрај тоа, борниот трихлорид е широко користен во преработката на метали, стаклената индустрија, хемиската анализа и лабораториското истражување.

Безбедност на борниот трихлорид

Борно трихлориде корозивно и токсично и може да предизвика сериозно оштетување на очите и кожата. Хидролизира во влажен воздух за ослободување на токсичен водороден хлорид гас. Затоа, треба да се преземат соодветни мерки за безбедност при ракувањеБорно трихлорид, вклучително и носење заштитна облека, очила и опрема за заштита на респираторна заштита и работа во добро вентилирана околина.