Бор трихлорид (BCl3)е неорганско соединение кое најчесто се користи во процесите на суво газирање и хемиско таложење на пареа (CVD) во производството на полупроводници. Тоа е безбоен гас со силен остар мирис на собна температура и е чувствителен на влажен воздух бидејќи хидролизира за да произведе хлороводородна киселина и борна киселина.

Примени на бор трихлорид

Во полупроводничката индустрија,Бор трихлоридГлавно се користи за суво јоргање на алуминиум и како допант за формирање на P-тип региони на силициумски плочки. Може да се користи и за јоргање на материјали како што се GaAs, Si, AlN и како извор на бор во одредени специфични апликации. Покрај тоа, бор трихлоридот е широко користен во преработката на метали, индустријата за стакло, хемиската анализа и лабораториските истражувања.

Безбедност на бор трихлорид

Бор трихлориде корозивен и токсичен и може да предизвика сериозно оштетување на очите и кожата. Се хидролизира во влажен воздух и ослободува токсичен гас водород хлорид. Затоа, треба да се преземат соодветни безбедносни мерки при ракување.Бор трихлорид, вклучувајќи носење заштитна облека, очила и опрема за заштита на дишните патишта, како и работа во добро проветрена средина.