Ултра-високата чистота (UHP) гасови се извор на енергија во индустријата за полупроводници. Бидејќи невидени побарувачка и нарушувања на глобалните синџири на снабдување ја зголемуваат цената на ултра-високиот гас под притисок, новиот дизајн на полупроводници и производствените практики го зголемуваат потребното ниво на контрола на загадувањето. За производителите на полупроводници, можноста да се обезбеди чистота на UHP гас е поважна од кога било.

Ултра висока чистота (UHP) гасови се апсолутно клучни во современото производство на полупроводници

Една од главните апликации на UHP гас е инертизација: UHP гас се користи за да се обезбеди заштитна атмосфера околу полупроводничките компоненти, а со тоа да се заштитат од штетните ефекти на влагата, кислородот и другите загадувачи во атмосферата. Како и да е, инертезацијата е само една од многуте различни функции што ги извршуваат гасовите во индустријата за полупроводници. Од примарните плазма гасови до реактивните гасови што се користат при гравирање и полнење, ултра-високи гасови под притисок се користат за многу различни намени и се од суштинско значење во текот на синџирот на снабдување со полупроводници.

Некои од „основните“ гасови во индустријата за полупроводници вклучуваатазот(се користи како општо чистење и инертен гас),Аргон(се користи како примарен плазма гас во реакции на гравирање и таложење),Хелиум(се користи како инертен гас со посебни својства на пренесување на топлина) иводород(игра повеќе улоги во чистење на анелирање, таложење, епитакси и плазма).

Бидејќи технологијата на полупроводници еволуираше и се смени, така и гасовите се користат во процесот на производство. Денес, погоните за производство на полупроводници користат широк спектар на гасови, од благородни гасови како што сеКриптониНеондо реактивни видови како што се азот трифлуорид (NF 3) и волфрам хексафлуорид (WF 6).

Растечката побарувачка за чистота

Од пронајдокот на првиот комерцијален микрочип, светот беше сведок на зачудувачко скоро експоненцијално зголемување на перформансите на полупроводничките уреди. Во текот на изминатите пет години, еден од најсигурните начини да се постигне ваков вид на подобрување на перформансите е преку „скалирање на големината“: намалување на клучните димензии на постојните архитектури на чипови со цел да се исцедат повеќе транзистори во даден простор. Покрај ова, развојот на нови архитектури за чипови и употребата на врвни материјали создадоа скокови во перформансите на уредот.

Денес, критичните димензии на врвните полупроводници сега се толку мали што скалирањето на големината не е повеќе одржлив начин за подобрување на перформансите на уредот. Наместо тоа, истражувачите на полупроводници бараат решенија во форма на нови материјали и архитектури за 3Д чипови.

Децении на неуморен редизајн значи дека денешните полупроводнички уреди се далеку помоќни од микрочиповите на старите - но тие се исто така повеќе кревки. Доаѓањето на технологијата за изработка на нафта од 300мм го зголеми нивото на контрола на нечистотии потребни за производство на полупроводници. Дури и најмала загадување во производниот процес (особено ретки или инертен гасови) може да доведе до неуспех на катастрофална опрема - така што чистотата на гасот сега е поважна од кога било.

За типична фабрика за изработка на полупроводници, гасот со ултра-висока чистота е веќе најголемиот трошок за материјал по самиот силикон. Овие трошоци се очекува само да се зголемат бидејќи побарувачката за полупроводници се зголемува на нови височини. Настаните во Европа предизвикаа дополнително нарушување на напнатиот ултра-висок пазар на природен гас под притисок. Украина е еден од најголемите светски извозници на висока чистотаНеонзнаци; Инвазијата на Русија значи дека снабдувањето со реткиот гас се ограничени. Ова пак доведе до недостиг и повисоки цени на други благородни гасови како што сеКриптониКсенон.