Спецификација | 99,999% |
Кислород + Аргон | ≤1 ppm |
Азот | ≤4 ppm |
Влага (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Халокарбини | ≤1 ppm |
Вкупни нечистотии | ≤10 ppm |
Јаглерод тетрафлуорид е халогениран јаглеводород со хемиска формула CF4. Може да се смета како халогениран јаглеводород, халогениран метан, перфлуоројаглерод или како неорганско соединение. Јаглерод тетрафлуорид е гас без боја и мирис, нерастворлив во вода, растворлив во бензен и хлороформ. Стабилен при нормална температура и притисок, избегнувајте силни оксиданти, запаливи или запаливи материјали. Незапалив гас, внатрешниот притисок на контејнерот ќе се зголеми кога е изложен на висока топлина и постои опасност од пукање и експлозија. Тој е хемиски стабилен и незапалив. Само течниот метален реагенс амонијак-натриум може да работи на собна температура. Јаглерод тетрафлуорид е гас кој предизвикува ефект на стаклена градина. Тој е многу стабилен, може да остане во атмосферата долго време и е многу моќен стакленички гас. Јаглерод тетрафлуорид се користи во процесот на плазма офорт на различни интегрирани кола. Се користи и како ласерски гас и се користи во ладилни средства со ниски температури, растворувачи, мазива, изолациски материјали и течности за ладење за инфрацрвени детектори. Тој е најкористениот гас за офорт со плазма во индустријата за микроелектроника. Тоа е мешавина од тетрафлуорометан гас со висока чистота и тетрафлуорометан гас со висока чистота и кислород со висока чистота. Може да се користи нашироко во силициум, силициум диоксид, силициум нитрид и фосфосиликатно стакло. Офортирањето на материјалите од тенок филм како што се волфрам и волфрам, исто така, широко се користи во површинското чистење на електронските уреди, производството на соларни ќелии, ласерската технологија, ладењето на ниски температури, инспекцијата на истекување и детергентот во производството на печатени кола. Се користи како нискотемпературно средство за ладење и плазма суво гравирање за интегрирани кола. Мерки на претпазливост при складирање: Да се чува во ладно, вентилирано складиште за незапалив гас. Да се чува подалеку од оган и извори на топлина. Температурата на складирање не треба да надминува 30 ° C. Треба да се чува одделно од лесно (запаливи) запаливи и оксиданти и да се избегнува мешано складирање. Просторот за складирање треба да биде опремен со опрема за итен третман за истекување.
① Ладилно средство:
Тетрафлуорометан понекогаш се користи како средство за ладење со ниска температура.
② Офорт:
Се користи во микрофабрикацијата на електрониката сам или во комбинација со кислород како плазма обојувач за силициум, силициум диоксид и силициум нитрид.
Производ | Јаглерод тетрафлуоридCF4 | ||
Големина на пакетот | Цилиндар од 40 литри | Цилиндар од 50 литри | |
Нето тежина на полнење/цил | 30 кг | 38 кг | |
Количина натоварено во контејнер 20' | 250 цикли | 250 цикли | |
Вкупна нето тежина | 7,5 тони | 9,5 тони | |
Тежина на цилиндар | 50 кг | 55 кг | |
Вентил | CGA 580 |
① Висока чистота, најнов објект;
② производител на ISO сертификат;
③Брза испорака;
④Систем за онлајн анализа за контрола на квалитетот во секој чекор;
⑤ Високи барања и прецизен процес за ракување со цилиндарот пред полнење;